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真空镀膜电源

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产品名称：真空镀膜电源

产品类别：表面处理行业

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产品详情

产品简介：

真空镀膜设备专用电源是济南能华公司根据真空镀膜设备的特点定为设计的新型产品，采用先进的PWM脉宽调制技术，具有良好的动态特性和抗干扰能力，动态响应时间小于10mS。设计有电压、电流双闭环控制电路，可实时对输出电压电流的控制，能有效解决溅射过程中阴极靶面的不清洁引起弧光放电造成大电流冲击引起电源的损坏问题。采用数字化DSP控制技术，自动控制电源的恒压恒流状态。在起弧和维弧时能自动快速控制电压电流使起弧和维弧工作更稳定，稳流精度大大提高，能有效节约靶材用量，提高产能，保证镀膜质量。

产品性能及特点：

1．采用先进的PWM脉宽调制开关电源技术，体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小，在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。

2．采用DSP数字化控制技术，在电网电压波动和负载大幅度波动（弧光放电情况下）情况下保证电源高效、稳定地工作，充分保证镀膜工艺的重复性，精确控制膜厚和减少靶材用量。

3．针对新靶清洗时存在的频繁打火现象, 设计了抑制打火自动保护功能，既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度。

4．具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。

5．电源的输出电压电流控制精度小于0.2%。

6．具有本机控制和远程控制两种模式，默认本机控制，在远程控制模式下用户的计算机通过RS485接口，控制电源的输出电压和电流，显示电源的工作状态。

7.具有模拟量控制接口,用户的4-20mA信号能控制电源的电压电流，电源输出4-20mA信号供用户的PLC显示电源的输出电压电流。

8．电源的功率因数高达0.95，电源效率≥90%。

技术参数：

规　格

输出电流

输出电压

型号

0-60V 可调单路输出	0-2A	0-60V	NHWY60-2
	0-3A	0-60V	NHWY60-3
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	0-300A	0-60V	NHWY60-300
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0-80V 可调单路输出	0-2A	0-80V	NHWY80-2
	0-3A	0-80V	NHWY80-3
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0-100V 可调单路输出	0-2A	0-100V	NHWY100-2
	0-3A	0-100V	NHWY100-3
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0-120V 可调单路输出	0-2A	0-120V	NHWY120-2
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0-150V 可调单路输出	0-2A	0-150V	NHWY150-2
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0-200V 可调单路输出	0-2A	0-200V	NHWY200-2
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0-220V 可调单路输出	0-2A	0-220V	NHWY220-2
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	0-30A	0-300V	NHWY300-30
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0-400V 可调单路输出	0-1A	0-400V	NHWY400-1
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0-500V 可调单路输出	0-1A	0-500V	NHWY500-1
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0-600V 可调单路输出	0-1A	0-600V	NHWY600-1
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	0-50A	0-600V	NHWY600-50
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0-800V 可调单路输出	0-1A	0-800V	NHWY800-1
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0-1000V 可调单路输出	0-1A	0-1000V	NHWY1000-1
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	0-40A	0-1000V	NHWY1000-40
	0-50A	0-1000V	NHWY1000-50
	0-100A	0-1000V	NHWY1000-100

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